近日，在瑤光半導體（浙江）有限公司（以下簡稱“瑤光”）與浙工大莫干山研究院聯(lián)合實驗室內，企業(yè)的技術人員正對一臺激光退火設備進行調試，再過幾天，這臺價值近700萬元的設備將被運往客戶手中。
“從今年4月企業(yè)簽約落地到實現(xiàn)生產，前后不過4個多月時間，可以說是跑出了加速度?！爆幑獍雽w（浙江）有限公司CEO葉忠平說。
瑤光是莫干山研究院今年引進的標志性項目之一，主要從事第三代寬禁帶半導體制程設備的研發(fā)、生產和銷售，目前公司已完成瑤光閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)，并擁有瑤光功率芯片背面激光退火方法，自主創(chuàng)新瑤光SiC外延生長方案，惰性氣體屏障技術等多項專有技術。
“目前我們已實現(xiàn)公司拳頭產品——激光退火設備的量產，具備逐行退火以及局部退火兩種模式的選擇，目前正在進行MOCVD外延設備的研發(fā)。”葉忠平介紹，近年來，受到國外對我國出口半導體設備的限制、國產化需求的升溫，我國半導體行業(yè)一直在加速奔跑。為順應行業(yè)發(fā)展趨勢，拓展國內市場，公司在研發(fā)時，一直在追求實現(xiàn)生產更高效、可靠性更高。
搶占市場并非易事?！拔覀兊募す馔嘶鹪O備已能夠實現(xiàn)節(jié)拍300秒的生產效率?！比~忠平自信地說，節(jié)拍300秒，即在從抓取晶圓到芯片完成激光退火的完整周期是300秒，領先于其他同類型設備，能有效為企業(yè)降低生產成本。不僅如此，在智能制造的浪潮之下，企業(yè)不斷擴大研發(fā)投入，加大自主創(chuàng)新力度，賦能半導體產業(yè)國產化?！邦A計在今年第四季度，我們能夠完成MOCVD外延設備的裝配，填補國內市場的空白?！?/span>
目前，該公司正在加緊布局莫干山研究院產業(yè)創(chuàng)新園的生產空間以擴大產能，預計今年第四季度投入使用。“這里的一期項目設置了1000平方米的萬級潔凈度無塵車間，在二期項目中我們規(guī)劃了2500余平方米的百級、千級、萬級無塵車間，滿足設備不同的生產要求。”葉忠平表示，未來，公司將積極推動自主研發(fā)，突破核心技術的束縛，推動產業(yè)鏈向高端制程的邁進，并與芯片研發(fā)制造企業(yè)共創(chuàng)，共同推動技術的進步和創(chuàng)新。
（來源：湖州市科技信息研究院）
